Projektübersicht

Ziel von NanoGasFET-Projekt ist die Schaffung einer neuen Generation von Gassensoren, die eine industriell umsetzbare Technologieplattform zur verbesserten Detektion von Spurengasen darstellt. Sie basiert auf der Auslesung der Elektronenaustrittsarbeit als Meßgröße mittels eines FET und erlaubt daher die Integration neuartiger nanotechnologischer Detektionsschichten. Diese neue Gassensorplattform soll das Anwendungspotential der Gassensorik signifikant erweitern, indem sie erstmals erlaubt auch kleine Gaskonzentrationen mit ausreichend hohem Meßsignal und mit zufriedenstellender Selektivität verlässlich zu detektieren (Erniedrigung der Störunempfindlichkeit gegenüber anderen in der Umgebung potentiell vorhandenen Gasen). Im Rahmen des Projektes werden verschiedene Kohlenstoffnanomaterialien mit funktionellen, gassensitiven Nanopartikeln dekoriert und auf ihre Gasempfindlichkeit mit einer Kelvinsonde getestet. Das Ziel ist die Ermittlung geeigneter funktioneller Schichten für definierte Zielgase. Weiterhin wird die Prozesstechnik zur Aufbringung der gasempfindlichen Schichten auf FETs Sensoren entwickelt.